Nehrdzavejúca oceľ: Nehrdzavejúca oceľ je jedným z najčastejšie používaných materiálov pri výrobe väčšiny vákuových čerpadiel, má vysokú odolnosť proti korózii, odolnosť voči korózii a bioinertnosť. Vďaka svojim vynikajúcim materiálovým vlastnostiam ponúkajú vývevy z nehrdzavejúcej ocele vynikajúcu odolnosť a dlhú životnosť. Okrem toho môže nehrdzavejúca oceľ pracovať pri relatívne vysokých teplotách, vďaka čomu je vhodná pre širokú škálu prostredí.
Hliníková zliatina: Hliníková zliatina je ľahký materiál široko používaný pri výrobe presných nástrojov. Vákuové čerpadlá z hliníkovej zliatiny ponúkajú vynikajúcu odolnosť, vysokú pevnosť a tuhosť; pre jeho relatívne slabú koróznu odolnosť ho však nemožno použiť na čerpanie korozívnych plynov.
Gumové materiály
Fluorokarbónová guma: Fluórkarbónová guma je bežne používaný gumový materiál pri výrobe vákuových čerpadiel, ktorý má vynikajúcu odolnosť proti oxidácii, odolnosť voči kyselinám a zásadám a odolnosť proti opotrebovaniu. Fluorokarbónový kaučuk tiež odoláva širokému spektru teplotných výkyvov bez straty elasticity v dôsledku teplotných zmien.
Polytetrafluóretylén (PTFE): Polytetrafluóretylén je veľmi bežný materiál široko používaný v rôznych aplikáciách. Ako materiál pre vákuové čerpadlá vykazuje dobrú odolnosť voči kyselinám a zásadám, odolnosť proti oderu a neadhézne vlastnosti.
Keramické materiály
Keramické materiály sú ďalším bežným materiálom používaným vo vákuových pumpách. Majú vynikajúcu odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť a odolnosť voči vysokým teplotám. Vďaka svojim jedinečným materiálovým vlastnostiam sa keramické vákuové pumpy široko používajú v-technických odvetviach, ako je výroba polovodičov, elektronických súčiastok a solárnych článkov.
